Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
28-12-2015 дата публикации

SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер: KR0101580704B1
Автор: 히로따 요시히로, 사또오 요시히로, 오꾸무라 노부오
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

... 플라즈마 질화 처리 공정 후에, 선택 에칭 처리 공정에 있어서, 전극층에 형성된 질화규소막을 남기면서, 소자 분리막 및 절연막의 표면에 형성된 질화산화규소막이 제거된다. 선택 에칭 공정에 의해, 소자 분리막 및 절연막의 표면에 형성된 질화산화규소막이 제거된다.

Подробнее
Номер записи: 1