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21-05-2018 дата публикации

MEMS MICROPHONE

Номер: KR1020180053212A
Автор: JE, CHANG HAN, YANG, WOO SEOK, LEE, SUNG Q
Принадлежит:

The present invention relates to a MEMS microphone which comprises: a substrate including an inner region defined by an opening and an outer region surrounding the inner region; a sensing electrode for defining a plurality of first holes overlapping the external region, and spaced apart from the substrate in a thickness direction of the substrate; a fixed electrode disposed over and spaced apart from the sensing electrode in the thickness direction, and defining a plurality of second holes overlapping the first holes and a plurality of sound holes overlapping the inner region; and a backplate for covering the sensing electrode and the fixed electrode, disposed on the substrate, and defining a plurality of holes overlapping the sound holes. The sensing electrode is fixed to the backplate since the backplate is disposed on the sensing electrode and the substrate through the first and second holes. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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Номер записи: 1
08-05-2015 дата публикации

ACOUSTIC SENSOR

Номер: KR1020150049193A
Автор: LEE, JAE WOO, JE, CHANG HAN, YANG, WOO SEOK, KWON, JONG KEE
Принадлежит:

Disclosed are an acoustic sensor and a method for manufacturing the same. According to the present invention, the acoustic sensor comprises: a lower electrode pad which covers a first through hole of the acoustic sensor and is extended to the upper side of the substrate; a diaphragm pad which covers a side wall of a second through hole and is extended to the upper side of the substrate; a lower electrode which is provided on the acoustic chamber and connected to the lower electrode pad; and a diaphragm which is separated from the lower electrode on the upper side of the substrate and connected to the diaphragm pad. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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Номер записи: 2
04-06-2015 дата публикации

MICROPHONE

Номер: KR1020150061341A
Автор: JE, CHANG HAN, LEE, JAE WOO, YANG, WOO SEOK, KWON, JONG KEE
Принадлежит:

A microphone is provided. The microphone according to the concept of the present invention includes a substrate which includes a sound chamber, a bottom back plate which is arranged on the substrate, a diaphragm which is separated from the bottom back plate and has a hole passing through the inner side thereof on the bottom back plate, a connection unit which is arranged on the bottom back plate and is extended through the hole of the diaphragm, and a top back plate which is provided on the connection unit and is separated from the diaphragm. The microphone according to the present invention improves sensitivity and reliability. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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Номер записи: 3
01-09-2017 дата публикации

PRESSURE SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING SAME

Номер: KR1020170099454A
Автор: JE, CHANG HAN, YANG, WOO SEOK, LEE, SUNG Q, CHOI, CHANG AUCK
Принадлежит:

Provided is a pressure sensor comprising: a substrate having a cavity therein; a partition wall arranged in the substrate surrounding the cavity; a substrate insulating layer arranged on an upper surface of the substrate covering an upper end of the cavity; a detection unit arranged on the substrate insulating layer; and an encapsulation layer arranged on the substrate insulating layer to cover the detection unit. The cavity is formed toward a lower surface from the upper surface of the substrate, and the partition wall has an internal wall exposed by the cavity. Moreover, at least a portion of the detection unit is able to be overlapped with the cavity on a flat surface. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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Номер записи: 4
04-08-2017 дата публикации

음향 센서 및 그 제조 방법

Номер: KR0101764314B1
Автор: 이재우, 제창한, 양우석, 김종대
Принадлежит: 한국전자통신연구원

... 패키징 공정에서 쉽게 발생하는 진동판의 손상을 억제하고, 안정적인 구조를 가지는 음향 센서 및 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 음향 센서의 제조 방법은, 기판 상부에 하부 전극을 형성하고, 상기 하부 전극에 에칭 홀을 형성하고, 상기 에칭 홀이 형성된 하부 전극 상부에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상부에 진동판을 결합하여 음향 센서부를 형성하는 단계, 상기 음향 센서부의 기판 하부가 음압 입력 홀을 통해 외부에 노출되도록 상기 음압 입력 홀이 형성된 인쇄회로 기판에 결합하는 단계, 상기 인쇄회로 기판 상에 상기 음향 센서부를 덮는 덮개를 부착하는 단계, 상기 음향 센서부의 기판을 식각하여 음향 챔버를 형성하는 단계 및 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.

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Номер записи: 5
04-08-2017 дата публикации

멤스 음향 센서 및 그 제조 방법

Номер: KR0101764226B1
Автор: 이재우, 제창한, 양우석, 김종대
Принадлежит: 한국전자통신연구원

... 본 발명은 더욱 상세하게 고정핀에 의해 하부 전극을 기판에 고정하여 외부 음압이 입력될 때 하부 전극의 상하 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하기 위한 멤스 음향 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 일부에 고정홈을 형성한 후, 고정홈에 고정핀을 형성하고, 고정핀에 의해 고정 전극이 기판에 고정되도록 함으로써, 음압 입력시에 원하지 않는 고정 전극의 상하 운동을 제거하여 주파수 응답 특성을 향상시키는 특징을 가지며, 공정 중에 발생할 수 있는 고정 전극의 열적 변형을 억제하여 공정의 수율을 향상시키는 효과가 있다.

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Номер записи: 6
09-03-2016 дата публикации

SENSOR PACKAGE

Номер: KR1020160025679A
Автор: WOO, JONG CHANG, JE, CHANG HAN, CHOI, CHANG AUCK
Принадлежит:

Provided is a sensor package. The sensor package comprises: a housing; a circuit part and a sensor part located inside the housing; and a cover located on the housing and coupled to the housing and an electrode connected to the circuit part and the sensor part to provide an elastic part which is a space to embed the sensor part in the housing, wherein an elastic part has a non-conductive elastic material therein to cover the sensor part. As such, the present invention increases a sensitivity of a signal transferred to the sensor part. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 7
23-02-2016 дата публикации

The thermoelectric device having improved thermoelectric efficiency and manufacturing method thereof

Номер: KR0101596286B1
Автор: 박영삼, 장문규, 윤선진, 정태형, 고상춘, 조성목, 제창한, 최성진, 임정욱
Принадлежит: 한국전자통신연구원

... 본 발명에 따른 열전소자는 레그 하부 또는 상부에 낮은 열전도도를 갖는 열 절연막을 형성하여 상기 열 절연막에 의해 상기 레그에서 열이 천천히 전달되도록 한 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 레그에서 열 흡수막으로부터 전달된 열이 천천히 열 방출막으로 전달되므로, 상기 열 흡수막과 상기 열 방출막 사이의 온도 차이가 커져 열전효율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.

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Номер записи: 8