23-02-2016 дата публикации
Номер: KR1020160020566A
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... 마이크로전자 조립체들 및 이의 제조 방법들이 본 명세서에 개시된다. 일 실시예에서, 마이크로전자 조립체의 형성 방법은 제1 및 제2 구성요소(102, 128)들의 제1 주 표면(104, 130)들이 서로 대면하고 사전결정된 간격만큼 서로 이격되도록 제1 및 제2 구성요소(102, 128)들을 조립하는 단계로서, 제1 구성요소(102)는 반대편을 향하는 제1 및 제2 주 표면(104, 106)들, 제1 주 표면(104)과 제2 주 표면(106) 사이에서 제1 방향으로 연장되는 제1 두께, 및 제1 주 표면(104)에 있는 복수의 제1 금속 접속 요소(112)들을 구비하고, 제2 구성요소(128)는 제2 구성요소(128)의 제1 주 표면(130)에 있는 복수의 제2 금속 접속 요소(132)들을 구비하는, 상기 제1 및 제2 구성요소들을 조립하는 단계; 및 이어서 각자의 제1 접속 요소(112)와 각자의 제1 접속 요소(112)의 반대편의 대응하는 제2 접속 요소(132) 사이에서 각각 제1 방향으로 연속적으로 연장되어 접속하는 복수의 금속 커넥터 영역(146)들을 도금(전기 도금 또 무전해 도금)하는 단계를 포함한다. 제1 및 제2 금속 접속 요소(112, 132)들은 구성요소(102, 128)들 내의 금속 비아(116, 134)들 또는 구성요소(102, 128)들의 표면에 있는 금속 패드(118)들을 포함할 수 있는데, 금속 비아(116, 134)들 또는 금속 패드(118)들은 도금 금속 영역(114)들에 의해 덮인다. 제1 시드 층(126)이 도금 공정 전에 제1 구성요소(102)의 주 표면 위에 놓이게 형성될 수 있는데, 여기서 금속 커넥터 영역(146)들을 도금한 후에 제1 시드 층(126)의 덮이지 않은 부분들이 제거된다. 유사하게, 제2 시드 층(144)이 제2 구성요소(128)의 주 표면 위에 놓이게 형성될 수 있다. 복수의 장벽 영역(152)들이 금속 커넥터 영역(146)들, 제1 도금 금속 영역(114)들 또는 제2 도금 금속 영역들 중 적어도 하나의 ...
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