16-05-2024 дата публикации
Номер: DE102021116207B4
Integriertes Schaltungsbauelement, umfassend:eine Metallverschaltung (175) über einem Substrat (157); undeinen Hohlraum (167, 187) innerhalb der Metallverschaltung (175);wobei eine erste dielektrische Schicht (169, 189) ein Dach für den Hohlraum (167, 187) bereitstellt; undeine zweite dielektrische Schicht (161, 185, 265) einen Boden (201, 2103) für den Hohlraum (167, 187) bereitstellt;eine dritte dielektrische Schicht (165), zwischen der ersten dielektrischen Schicht (169, 189) und der zweiten dielektrischen Schicht (161, 185, 265), wobei der Hohlraum einen ersten Hohlraum (167B) zwischen der ersten dielektrischen Schicht (169, 189) und der dritten dielektrischen Schicht (165) bildet und einen zweiten Hohlraum (163B) zwischen der dritten dielektrischen Schicht (165) und der zweiten dielektrischen Schicht (161, 185, 265) bildet; undein Material, das sich von der ersten dielektrischen Schicht (169, 189) und der zweiten dielektrischen Schicht (161, 185, 265) unterscheidet, eine Seitenkante (221, 305, 1901) für den ersten Hohlraum (167B) und den zweiten Hohlraum (163B) bereitstellt.
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