05-12-1985 дата публикации
Номер: DE3340782C2
Die Erfindung betrifft eine kapazitive Längen- und/oder Winkelmeßeinrichtung mit einem Meßwertaufnehmer, der aus einem stationären Teil 1 als Maßstab und einem parallel über dessen Oberfläche in geringem Abstand verschiebbaren Teil 2 als Abtasteinheit besteht. Die einander gegenüberliegenden Flächen des Maßstabs 1 und der Abtasteinheit 2 sind mit Kondensatorbelägen 5, 6, 7, 8, 9 versehen. Die zu messende mechanische Größe bewirkt eine Flächenänderung eines Kondensators, wobei die dadurch entstehende Kapazitätsänderung als ein veränderlicher, kapazitiver Blindwiderstand in einem Stromkreis wirkt, der die Phasenlage der elektrischen Signale ändert. Bei entsprechender Gestaltung der Kondensatorfläche 5, 6, 7, 8, 9 erhält man eine lineare Funktion zwischen der zu messenden mechanischen Größe und der Phasenlage der Signale. The invention relates to a capacitive length and / or angle measuring device with a transducer which consists of a stationary part 1 as a scale and a part 2 as a scanning unit which can be displaced parallel over its surface at a small distance. The opposing surfaces of the scale 1 and the scanning unit 2 are provided with capacitor plates 5, 6, 7, 8, 9. The mechanical variable to be measured causes a change in the area of a capacitor, the resulting change in capacitance acting as a variable, capacitive reactance in a circuit that changes the phase position of the electrical signals. With a suitable design of the capacitor surface 5, 6, 7, 8, 9, a linear function is obtained between the mechanical variable to be measured and the phase position of the signals.
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