Поиск патентов

Настройки

Глубина выборки

Укажите год

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Ключевые слова. Может быть несколько по одной на строку

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка

Автор

Ведите корректный номера.

Владелец

Ведите корректный номера.

Классы IPC

Ведите корректный номера.

Классы CPC

Ведите корректный номера.

Начиная с года

Укажите год

Заканчивая годом

Укажите год

Применить Всего найдено 4. Отображено 4.

27-09-2007 дата публикации

Resonant inertial microsensor with variable thickness produced by surface engineering

Номер: US20070222011A1

Автор: Philippe Robert, Laurent Duraffour

Принадлежит: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

The invention relates to a surface-type MEMS resonant sensor, comprising a resonator (4) with excitation in a plane, which sensor comprises: a first, so-called thick area (2), having a first thickness (E1), forming a seismic mass, a second, thin area (4), having a second thickness (E2), lower than the first, for detection.

Подробнее

Номер записи: 1

02-05-2008 дата публикации