Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
09-02-2006 дата публикации

Megasonic cleaning with minimized interference

Номер: US20060027248A1
Автор: John Lewis, Brian Brown, Jun Zhao, Steven Vehaverbeke, Alexander Ko, Rick Endo, Roman Gouk, Pieter Boelen
Принадлежит: APPLIED MATERIALS, INC.

In a first aspect, a first method of cleaning a substrate is provided that includes the steps of (1) forming a layer of cleaning solution on a major surface of a substrate; and (2) cleaning the major surface of the substrate by directing sonic energy substantially parallel to the major surface of the substrate through the layer of cleaning solution. Numerous other aspects are provided.

Подробнее
Номер записи: 1