CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (cMUT) AND ITS PRODUCTION METHOD
Номер патента: EP1781067B1
Опубликовано: 28-08-2013
Автор(ы): Hideo c/o OLYMPUS CORPORATION ADACHI, Katsuhiro Wakabayashi, Kiyoshi c/o OLYMPUS CORPORATION NEMOTO, Miyuki Murakami, Shinji c/o OLYMPUS CORPORATION YASUNAGA
Принадлежит: Olympus Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-08-2013
Автор(ы): Hideo c/o OLYMPUS CORPORATION ADACHI, Katsuhiro Wakabayashi, Kiyoshi c/o OLYMPUS CORPORATION NEMOTO, Miyuki Murakami, Shinji c/o OLYMPUS CORPORATION YASUNAGA
Принадлежит: Olympus Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Capacitive micromachined ultrasound transducers with pressurized cavities
Номер патента: US09586233B2. Автор: Butrus T. Khuri-Yakub,Nikhil Apte,Kwan Kyu Park. Владелец: Leland Stanford Junior University. Дата публикации: 2017-03-07.