Apparatus for coating substrates with materials, particularly for lacquering si-wafers
Номер патента: US6485568B1
Опубликовано: 26-11-2002
Автор(ы): Erich Thallner
Принадлежит: Erich Thallner
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-11-2002
Автор(ы): Erich Thallner
Принадлежит: Erich Thallner
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
APPARATUS FOR ALIGNING AND RECOGNIZING AN OBJECT IN RELATION TO REFERENCE LINES, PARTICULARLY FOR THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTORS
Номер патента: FR2434535B1. Автор: . Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1986-06-27.