High Productivity Combinatorial Techniques for Titanium Nitride Etching
Номер патента: US20140179112A1
Опубликовано: 26-06-2014
Автор(ы): Foster John, Metzger Sven
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-06-2014
Автор(ы): Foster John, Metzger Sven
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Selective titanium nitride etching
Номер патента: US20140179111A1. Автор: Jie Liu,Nitin K. Ingle,Seung Park,Anchuan Wang,Zhijun CHEN,Ching-Mei Hsu,Jingchun Zhang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-06-26.