用於氣體流量比控制的方法與組件
Номер патента: TW201802962A
Опубликовано: 16-01-2018
Автор(ы): 丹尼斯L 狄馬斯, 傑戴夫 拉札拉姆, 凱文 布拉希爾, 愛希利M 歐卡達, 葉祉淵, 馬塞爾E 約瑟夫森
Принадлежит: 應用材料股份有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-01-2018
Автор(ы): 丹尼斯L 狄馬斯, 傑戴夫 拉札拉姆, 凱文 布拉希爾, 愛希利M 歐卡達, 葉祉淵, 馬塞爾E 約瑟夫森
Принадлежит: 應用材料股份有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and assemblies for gas flow ratio control
Номер патента: US20240145275A1. Автор: Zhiyuan Ye,Kevin Brashear,Ashley M. Okada,Dennis L. DeMars,Jaidev Rajaram,Marcel E. Josephson. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-02.