Vacuum pump
Номер патента: EP4239197A1
Опубликовано: 06-09-2023
Автор(ы): Atsushi Shiokawa, Masashi Obuchi, Tetsuro Sugiura
Принадлежит: Ebara Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-09-2023
Автор(ы): Atsushi Shiokawa, Masashi Obuchi, Tetsuro Sugiura
Принадлежит: Ebara Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vacuum pump apparatus
Номер патента: EP4067658A3. Автор: Wei Zhang,Hideo Arai,Takahiro Tanaka,Kazuma Ito,Kazuki Kimoto. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2022-11-02.