Micromirror arrays
Номер патента: NL2026216A
Опубликовано: 24-02-2021
Автор(ы): Adrianus Goorden Sebastianus, Brondani Torri Guilherme, PANDEY Nitesh, Rochus Veronique, Roger Simonne Haspeslagh Luc
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-02-2021
Автор(ы): Adrianus Goorden Sebastianus, Brondani Torri Guilherme, PANDEY Nitesh, Rochus Veronique, Roger Simonne Haspeslagh Luc
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micromirror arrays
Номер патента: EP4018264A1. Автор: Nitesh PANDEY,Sebastianus Adrianus GOORDEN,Luc Roger Simonne HASPESLAGH,Guilherme BRONDANI TORRI,Veronique Rochus. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2022-06-29.