Composite ion source based upon heterogeneous metal-metal fluoride system
Номер патента: US11887806B2
Опубликовано: 30-01-2024
Автор(ы): Graham Wright, Ryan C. Prager
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-01-2024
Автор(ы): Graham Wright, Ryan C. Prager
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Composite ion source based upon heterogeneous metal-metal fluoride system
Номер патента: US20230326703A1. Автор: Graham Wright,Ryan C. Prager. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-12.