Vorrichtung zum Behandeln eines bandförmigen Substrates mit einem Gas
Номер патента: DE19901088A1
Опубликовано: 20-07-2000
Автор(ы): Detlef Eller
Принадлежит: Leybold Systems GmbH
Опубликовано: 20-07-2000
Автор(ы): Detlef Eller
Принадлежит: Leybold Systems GmbH
Реферат: Eine Behandlungsvorrichtung (2) zum Behandeln eines bandförmigen Substrates (1) mit einem Gas hat eine Gasquelle (5) für das Gas. Um die Gasquelle (5) herum ist als Musterträger ein endloses Musterband (7) über mehrere Umlenkwalzen (8, 9, 10, 11) umlaufend geführt. Das Musterband (7) besteht aus einer Siebfolie, welche zur Erzeugung von nicht mit dem Gas zu behandelnden Bereichen des Substrates (1) mit einer Abdeckung (14) versehen ist.
Vakuumbeschichtungsanlage, und verfahren zum beschichten eines bandförmigen materials
Номер патента: EP3802387A1. Автор: Thomas Daube,Lutz Kümmel. Владелец: SMS group GmbH. Дата публикации: 2021-04-14.