Multi-layer composite backplate for micromechanical microphone
Номер патента: US20170245060A1
Опубликовано: 24-08-2017
Автор(ы): Brett Matthew Diamond, John W. ZINN
Принадлежит: Akustica Inc, ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-08-2017
Автор(ы): Brett Matthew Diamond, John W. ZINN
Принадлежит: Akustica Inc, ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-layer composite backplate for micromechanical microphone
Номер патента: US20170245060A1. Автор: John W. ZINN,Brett Matthew Diamond. Владелец: Akustica Inc. Дата публикации: 2017-08-24.