Verfahren zur herstellung von bildsensoren
Номер патента: EP1451874A2
Опубликовано: 01-09-2004
Автор(ы): Tarek Lule
Принадлежит: STMicroelectronics NV
Опубликовано: 01-09-2004
Автор(ы): Tarek Lule
Принадлежит: STMicroelectronics NV
Реферат: Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Bildsensoren auf Basis der TFA-Technologie, bestehend aus einem amorphen Dünnschichtsystem, das auf einem kristallinen ASIC aufgebracht worden ist. Mit der Erfindung sollen Bildsensoren auf Basis der TFA-Technologie geschaffen werden, die bei niedrigen Beleuchtungsstärken dadurch eine bessere Bildqualität bieten, dass die Dunkelströme reduziert werden. Erreicht wird dies dadurch, dass die Photodioden im Dünnschichtmaterial (11) pixelweise ausgebildet über Rückelektroden (12) jeweils mit Transistorstrukturen (33) im kristallinen ASIC (2) verbunden sind, die durch eine Implantationstechnologie oder Optimierung der Herstellungsschritte besonders niedrige Leckströme aufweisen.
Verfahren zur herstellung von bildsensoren
Номер патента: WO2003054919A3. Автор: Tarek Lule. Владелец: ST MICROELECTRONICS NV. Дата публикации: 2003-12-31.