Procédé de dépôt de couches minces sur un substrat par la voie d'une décharge électrique luminescente et appareillage pour la mise en oeuvre de ce procédé
Номер патента: FR1493110A
Опубликовано: 25-08-1967
Автор(ы): Jean Pompei, Philippe Belin
Принадлежит: RADIOTECHNIQUE COPRIM RTC
Опубликовано: 25-08-1967
Автор(ы): Jean Pompei, Philippe Belin
Принадлежит: RADIOTECHNIQUE COPRIM RTC
Procédé de dépôt de couches atomiques assisté par plasma à couplage capacitif
Номер патента: FR3135731B1. Автор: Thierry Chevolleau,Marceline Bonvalot,Moustapha Jaffal. Владелец: UNIVERSITE GRENOBLE ALPES. Дата публикации: 2024-04-12.