Procédé de dépôt de couches atomiques assisté par plasma à couplage capacitif
Номер патента: FR3135731B1
Опубликовано: 12-04-2024
Автор(ы): Marceline Bonvalot, Moustapha Jaffal, Thierry Chevolleau
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-04-2024
Автор(ы): Marceline Bonvalot, Moustapha Jaffal, Thierry Chevolleau
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Procédé de dépôt de couches atomiques assisté par plasma à couplage capacitif
Номер патента: FR3135731A1. Автор: Thierry Chevolleau,Marceline Bonvalot,Moustapha Jaffal. Владелец: UNIVERSITE GRENOBLE ALPES. Дата публикации: 2023-11-24.