Réacteur de dépôt assisté par plasma
Номер патента: FR3135732A1
Опубликовано: 24-11-2023
Автор(ы): Marceline Bonvalot, Moustapha Jaffal, Thierry Chevolleau
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-11-2023
Автор(ы): Marceline Bonvalot, Moustapha Jaffal, Thierry Chevolleau
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Réacteur de dépôt assisté par plasma
Номер патента: FR3135732B1. Автор: Thierry Chevolleau,Marceline Bonvalot,Moustapha Jaffal. Владелец: UNIVERSITE GRENOBLE ALPES. Дата публикации: 2024-04-12.