Dispositif et procede de depot de revetements epais de nitrures metalliques par la voie fluides supercritiques
Номер патента: EP4189137A1
Опубликовано: 07-06-2023
Автор(ы): Angélique Nadine Jeanne POULON, Baptiste Simon GIROIRE, Bertrand Guillaume, Cyril Aymonier, Guillaume Aubert, Marjorie Christine CAVARROC
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, Safran SA, Universite de Bordeaux
Опубликовано: 07-06-2023
Автор(ы): Angélique Nadine Jeanne POULON, Baptiste Simon GIROIRE, Bertrand Guillaume, Cyril Aymonier, Guillaume Aubert, Marjorie Christine CAVARROC
Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, Safran SA, Universite de Bordeaux
Реферат: Dispositif (100) de dépôt d'un nitrure métallique épais sur un échantillon (104) par la voie fluides supercritiques comprenant : - Une première enceinte (110) formant un premier volume fermé (V1); - Une deuxième enceinte (120) placé dans la première enceinte et délimitée par des parois internes (102) transparentes aux rayonnements électromagnétiques formant un second volume fermé (V2) destiné à comprendre un fluide en conditions supercritiques; - Un fluide diélectrique caloporteur circulant dans le premier volume autour de la deuxième enceinte; - Un porte-échantillon (105) présent dans le second volume; - Un dispositif de chauffage par induction (103) entourant la deuxième enceinte; - Des entrées (150, 151) pour introduire dans la deuxième enceinte un fluide et au moins un matériau précurseur; et - Une sortie (152) pour purger le second volume.
Dispositif et procede de depot de revetements epais de nitrures metaliques par la voie fluides supercritique
Номер патента: FR3112972A1. Автор: Bertrand Guillaume,Cyril Aymonier,Baptiste Simon GIROIRE,Marjorie Christine CAVARROC,Guillaume Aubert,Angélique Nadine Jeanne POULON. Владелец: Safran SA. Дата публикации: 2022-02-04.