Piezoelectric mems acoustic sensor
Номер патента: EP4050312A1
Опубликовано: 31-08-2022
Автор(ы): Pengcheng WU, Wei Mong Tsang
Принадлежит: United Microelectronics Center Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-08-2022
Автор(ы): Pengcheng WU, Wei Mong Tsang
Принадлежит: United Microelectronics Center Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Piezoelectric mems acoustic sensor
Номер патента: US20220390310A1. Автор: Wei Mong Tsang,Pengcheng WU. Владелец: United Microelectronics Center Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-08.