Electronic device and method for manufacturing electronic device
Номер патента: US20210066393A1
Опубликовано: 04-03-2021
Автор(ы): Hyung Dong Lee, Si Jung YOO, Tae Hoon Kim
Принадлежит: SK hynix Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-03-2021
Автор(ы): Hyung Dong Lee, Si Jung YOO, Tae Hoon Kim
Принадлежит: SK hynix Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing
Номер патента: US20190355605A1. Автор: Michael R. Rice,Jeffrey C. Hudgens,Nir Merry,Karuppasamy Muthukamatchi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-11-21.