Einrichtung zur behandlung von werkstücken in einem niederdruck-plasma
Номер патента: DE59801475D1
Опубликовано: 18-10-2001
Автор(ы): Fred Fietzke, Klaus Goedicke, Siegfried Schiller, Torsten Winkler, Volker Kirchhoff
Принадлежит: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Опубликовано: 18-10-2001
Автор(ы): Fred Fietzke, Klaus Goedicke, Siegfried Schiller, Torsten Winkler, Volker Kirchhoff
Принадлежит: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Einrichtung zur behandlung von werkstücken in einem niederdruck-plasma
Номер патента: EP1036207A2. Автор: Siegfried Schiller,Volker Kirchhoff,Klaus Goedicke,Torsten Winkler,Fred Fietzke. Владелец: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV. Дата публикации: 2000-09-20.