Procedimiento para la producción de nanoestructuras de silicio periódicas cristalinas
Номер патента: ES2566182T3
Опубликовано: 11-04-2016
Автор(ы): Bernd Rech, Christiane BECKER, Eveline Rudigier-Voigt, Matthias Bockmeyer, Tobias SONTHEIMER
Принадлежит: Helmholtz Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-04-2016
Автор(ы): Bernd Rech, Christiane BECKER, Eveline Rudigier-Voigt, Matthias Bockmeyer, Tobias SONTHEIMER
Принадлежит: Helmholtz Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Método para la producción automática de una máscara de fusión óptica
Номер патента: ES2908711T3. Автор: Christoph Bode,Daniel Beier,Danilo Gulamhussene,Christian Steinmann,Gino Gulamhussene. Владелец: DomeprojectionCom GmbH. Дата публикации: 2022-05-03.