Compositions and methods for cmp of phase change alloys
Номер патента: KR101173720B1
Опубликовано: 13-08-2012
Автор(ы): 스리람 안주르, 제프리 디사르드, 파울 페니
Принадлежит: 캐보트 마이크로일렉트로닉스 코포레이션
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Опубликовано: 13-08-2012
Автор(ы): 스리람 안주르, 제프리 디사르드, 파울 페니
Принадлежит: 캐보트 마이크로일렉트로닉스 코포레이션
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Texture etching solution composition and texture etching method for crystalline silicon wafer
Номер патента: WO2012169722A1. Автор: 박면규,이재연,홍형표. Владелец: 동우화인켐 주식회사. Дата публикации: 2012-12-13.