Position feedback for sealed environments
Номер патента: WO2015073634A1
Опубликовано: 21-05-2015
Автор(ы): Branden Gunn, Jairo T. Moura, Matthew Coady, Reza SAEIDPOURAZAR, Ulysses Gilchrist
Принадлежит: Brooks Automation, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-05-2015
Автор(ы): Branden Gunn, Jairo T. Moura, Matthew Coady, Reza SAEIDPOURAZAR, Ulysses Gilchrist
Принадлежит: Brooks Automation, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and apparatus for sealing a slit valve door
Номер патента: US8991785B2. Автор: Michael R. Rice,Angela Rose Sico,James D. Strassner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-03-31.