Monitoring stage alignment and related stage and calibration target
Номер патента: US20090185183A1
Опубликовано: 23-07-2009
Автор(ы): Clemente Bottini, LIN Zhou, Roger M. Young, Ronald D. Fiege, Shahin Zangooie
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-07-2009
Автор(ы): Clemente Bottini, LIN Zhou, Roger M. Young, Ronald D. Fiege, Shahin Zangooie
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Transfer apparatus, and related components and methods, for transferring substrates
Номер патента: US20240170321A1. Автор: Andrew Kretzschmar,Masato Ishii,Ashur J. Atanos,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-23.