Positiv arbeitende Resistmaterialien mit besonderen Oniumsalzen
Номер патента: DE69422319T2
Опубликовано: 24-08-2000
Автор(ы): Akinobu Tanaka, Fujio Yagihasi, Jun Watanabe, Tadahito Matsuda, Tomoyoshi Furihata, Yoshio Kawai
Принадлежит: Nippon Telegraph and Telephone Corp, Shin Etsu Chemical Co Ltd
Опубликовано: 24-08-2000
Автор(ы): Akinobu Tanaka, Fujio Yagihasi, Jun Watanabe, Tadahito Matsuda, Tomoyoshi Furihata, Yoshio Kawai
Принадлежит: Nippon Telegraph and Telephone Corp, Shin Etsu Chemical Co Ltd
Positiv arbeitende Resistmaterialien mit besonderen Oniumsalzen
Номер патента: DE69422319D1. Автор: Yoshio Kawai,Tomoyoshi Furihata,Jun Watanabe,Akinobu Tanaka,Tadahito Matsuda,Fujio Yagihasi. Владелец: Nippon Telegraph and Telephone Corp. Дата публикации: 2000-02-03.