Verfahren zur Herstellung von Kuppeln mit hohem Aspektverhältnis mittels Gasphasenabscheidung
Номер патента: DE60139846D1
Опубликовано: 22-10-2009
Автор(ы): Jitendra S Goela, Zlatko Salihbegovic
Принадлежит: Shipley Co Inc
Опубликовано: 22-10-2009
Автор(ы): Jitendra S Goela, Zlatko Salihbegovic
Принадлежит: Shipley Co Inc
Verfahren zur herstellung eines polykristallinen siliziumstabs
Номер патента: DE102020113805A1. Автор: Masahiko Ishida,Tetsuro Okada,Naruhiro Hoshino. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-17.