Carrier conveying apparatus
Номер патента: US5203445A
Опубликовано: 20-04-1993
Автор(ы): Hirotsugu Shiraiwa
Принадлежит: Tokyo Electron Sagami Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-04-1993
Автор(ы): Hirotsugu Shiraiwa
Принадлежит: Tokyo Electron Sagami Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same
Номер патента: US09624046B2. Автор: Ichiro Mitsuyoshi,Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.