Verfahren und system zur steuerung einer vorrichtung zum greifen oder positionieren von auf einem substratträger angeordneten substraten
Номер патента: WO2017182253A1
Опубликовано: 26-10-2017
Автор(ы): Christian Bohm, Erik Ansorge, Sebastian Raschke
Принадлежит: MEYER BURGER (GERMANY) AG
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Опубликовано: 26-10-2017
Автор(ы): Christian Bohm, Erik Ansorge, Sebastian Raschke
Принадлежит: MEYER BURGER (GERMANY) AG
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Verfahren und Vorrichtung zum Be- und Entladen von Halbleiterwafern
Номер патента: EP1207548A3. Автор: Giulio Manzoni,Alfred Binder,Kurt Aigner,Gerhard Kroupa,Josef Unterweger,Martin Matschitsch,Stefan Wöhlert,Stefan Zerlauth,Annemarie Fertschei,Alberto Giovannini,Richard Golubic,Marian Kerhe,Marcello Ladinig,Conny-Norbert Rudolf,Werner Scherf. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2005-11-30.