Vorrichtung und methode zum schuetzen der rueckseite einer scheibe waehrend der bearbeitung.
Номер патента: DE467624T1
Опубликовано: 24-09-1992
Автор(ы): Eliot K. San Jose California 95148 Broadbent, Everhardus P. Cupertino California 95014 Van De Ven, Michael E. Milpitas California 95035 Thomas
Принадлежит: National Semiconductor Corp
Опубликовано: 24-09-1992
Автор(ы): Eliot K. San Jose California 95148 Broadbent, Everhardus P. Cupertino California 95014 Van De Ven, Michael E. Milpitas California 95035 Thomas
Принадлежит: National Semiconductor Corp
Vorrichtung und verfahren zum hochratenätzen eines substrates mit einer plasmaätzanlage und vorrichtung und verfahren zum zünden eines plasmas und hochregeln oder pulsen der plasmaleistung
Номер патента: EP1110237A2. Автор: Franz Laermer,Thomas Beck,Andrea Schilp,Volker Becker. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2001-06-27.