Partikel-mikroskopsystem und verfahren zum bestimmen einer anordnung einer probe in einem partikel- mikroskopsystem
Номер патента: DE102023120736B3
Опубликовано: 24-10-2024
Автор(ы): Florian Huber
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-10-2024
Автор(ы): Florian Huber
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Elektronenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Probe mit einem Elektronenmikroskop
Номер патента: AT516561A1. Автор: . Владелец: Verein Zur Forderung Der Elektronenmikroskopie und Feinstrukturforschung. Дата публикации: 2016-06-15.