Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
Номер патента: US09644272B2
Опубликовано: 09-05-2017
Автор(ы): Eunho Kim, Muhyun Kim, Suhwan Lee
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-05-2017
Автор(ы): Eunho Kim, Muhyun Kim, Suhwan Lee
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
Номер патента: US8920563B2. Автор: Mu-gyeom Kim,Chang-Mo Park. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-30.