Methods and systems for controllably moving one or more moveable stages in a displacement device

12-01-2017 дата публикации

Номер:

CA2988803A1

Автор: Xiaodong Lu

Принадлежит: University of British Columbia

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B6 B65 B65G B65G5 B65G54 B65G54/B65G54/0 B65G54/02 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/68 H02 H02K H02K1 H02K1/H02K1/1 H02K1/12 H02K11 H02K11/H02K11/2 H02K11/20 H02K2 H02K22 H02K220 H02K2201 H02K2201/H02K2201/1 H02K2201/18 H02K3 H02K3/H02K3/2 H02K3/26 H02K4 H02K41 H02K41/H02K41/0 H02K41/02 H02P H02P2 H02P25 H02P25/H02P25/0 H02P25/06

IPC - классификация

B B6 B65 B65G B65G5 B65G54 B65G54/B65G54/0 B65G54/02 H H0 H02 H02K H02K1 H02K11 H02K11/H02K11/2 H02K11/20 H02K3 H02K3/H02K3/2 H02K3/26