Method and apparatus for calibrating a laser wavelength control mechanism

07-03-1996 дата публикации

Номер:

CA2198713A1

Автор: Igor Fomenkov

Принадлежит: Cymer Laser Technologies, CYMER, INC., Igor Fomenkov

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J2 G01J20 G01J200 G01J2003 G01J2003/G01J2003/2 G01J2003/28 G01J2003/286 G01J2003/2866 G01J3 G01J3/G01J3/1 G01J3/12 G01J9 G01J9/G01J9/0 G01J9/00 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/1 H01S3/13 H01S3/130 H01S3/1303 H01S3/139 H01S3/1392

IPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J3 G01J3/G01J3/1 G01J3/12 G01J9 G01J9/G01J9/0 G01J9/00 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/1 H01S3/13 H01S3/139