等离子体发生装置

05-07-2019 дата публикации

Номер:

CN109983848A

Автор: 池户俊之, 神藤高广

Принадлежит: Fuji Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/320 H01J37/3205 H01J37/32055 H01J37/324 H01J37/3244 H01J37/328 H01J37/3282 H01J37/32825 H01J37/3283 H01J37/32834 H05 H05H H05H1 H05H1/H05H1/4 H05H1/46 H05H1/466 H05H1/469 H05H1/4697 H05H2 H05H22 H05H224 H05H2240 H05H2240/H05H2240/1 H05H2240/10 H05H2245 H05H2245/H05H2245/4 H05H2245/40

IPC - классификация

H H0 H02 H02J H02J7 H02J7/H02J7/3 H02J7/34 H02J7/345 H05 H05H H05H1 H05H1/H05H1/4 H05H1/46 H05H1/5 H05H1/50

Получить PDF