Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

14-09-2023 дата публикации

Номер:

DE102022202299A1

Автор: Dorothea Papathanassiou, Hans-Peter Baer, Jan Stiedl, Tobias HENN

Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки: