Charged particle beam device

04-03-1992 дата публикации
Номер:
EP0473216A2
Автор: Petrus Maria Mul
Принадлежит: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV, Philips Gloeilampenfabrieken NV
Контакты:
Номер заявки:
Дата заявки:







CPC - классификация

HH0H01H01JH01J2H01J22H01J223H01J2237H01J2237/H01J2237/0H01J2237/02H01J2237/021H01J2237/0216H01J3H01J37H01J37/H01J37/0H01J37/07H01J37/073H01J37/1H01J37/18H01J37/2H01J37/24H01J37/248

IPC - классификация

HH0H01H01JH01J3H01J37H01J37/H01J37/0H01J37/07H01J37/073H01J37/1H01J37/18H01J37/2H01J37/24H01J37/248
Получить PDF