Piezoelectric multilayer stack of aluminum nitride, device comprising the stack and method of production

11-12-2020 дата публикации

Номер:

FR3097078A1

Автор: Elisabeth Blanquet, Frederic Mercier, Juan Su, Liang Tian, Michel Pons, Raphael Boichot

Принадлежит: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS, Institut Polytechnique de Grenoble, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H1 H10 H10N H10N3 H10N30 H10N30/H10N30/0 H10N30/07 H10N30/076 H10N30/1 H10N30/10 H10N30/105 H10N30/1051 H10N30/8 H10N30/85

Получить PDF