フォトレジスト組成物

16-02-2016 дата публикации

Номер:

JP0005862657B2

Автор: 一樹笠原, 憲彦池田, 浩光中島, 吉田　昌史, 昌史吉田, 雅史堀, 龍一芹澤, 笠原一樹, 池田憲彦, 中島浩光, 吉田昌史, 堀雅史, 芹澤龍一

Принадлежит: JSR Corp

Контакты:

Номер заявки: 75-50-201375

Дата заявки: 26-03-2012

CPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F2 C08F22 C08F220 C08F220/C08F220/1 C08F220/18 C08F220/180 C08F220/1806 C08F220/1808 C08F220/181 C08F220/1811 C08F220/1812 C08F220/1818 C08F224 C08F224/C08F224/0 C08F224/00 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0397 G03F7/1 G03F7/11 G03F7/2 G03F7/20 G03F7/204 G03F7/2041 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/027

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/039

Получить PDF