利用電容感測器陣列面板的夾頭水平度及壓力測定系統

01-08-2014 дата публикации

Номер:

TW201430997A

Автор: Jun-Hee Lee, Yong-Ju Kim

Принадлежит: COXEM CO Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01B G01B7 G01B7/G01B7/3 G01B7/30 G01B7/34 G01B7/345 G01C G01C2 G01C20 G01C200 G01C2009 G01C2009/G01C2009/0 G01C2009/06 G01C2009/062 G01C9 G01C9/G01C9/0 G01C9/06 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67

IPC - классификация

E E2 E21 E21B E21B4 E21B47 E21B47/E21B47/0 E21B47/02 G G0 G01 G01C G01C9 G01C9/G01C9/0 G01C9/06 G01C9/2 G01C9/20

Получить PDF