Method and apparatus for cleaning and drying wafers

21-01-2011 дата публикации

Номер:

TWI336487B

Автор: Jae Sun Han, Jeong-Yong Bae, Jung-Keun Cho, One Vai KIM, KIM ONE VAI, HAN JAE SUN, BAE JEONG-YONG, CHO JUNG-KEUN, KIM, ONE VAI, HAN, JAE SUN, BAE, JEONG-YONG, CHO, JUNG-KEUN

Принадлежит: Semes Co Ltd, SEMES CO LTD, SEMES CO., LTD.

Контакты:

Номер заявки: 96-51-9410

Дата заявки: 22-02-2005

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02

Получить PDF