Method for melting semiconductor wafer raw materia

11-02-2012 дата публикации

Номер:

TWI357937B

Автор: Koichi Shimomura, SHIMOMURA KOICHI, SHIMOMURA, KOICHI

Принадлежит: Sumco Techxiv Corp, SUMCO TECHXIV CORP, SUMCO TECHXIV CORPORATION

Контакты:

Номер заявки: 40-34-9612

Дата заявки: 28-06-2007

CPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B1 C30B11 C30B11/C30B11/0 C30B11/00 C30B11/003 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/14 C30B2 C30B29 C30B29/C30B29/0 C30B29/06 C30B3 C30B35 C30B35/C30B35/0 C30B35/00 Y Y1 Y10 Y10T Y10T1 Y10T11 Y10T117 Y10T117/Y10T117/1 Y10T117/10 Y10T117/106 Y10T117/1068

IPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B1 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/14 C30B15/2 C30B15/20

Получить PDF