Vaporizing tank, vaporizer and vaporizing device

11-12-2019 дата публикации

Номер:

TWI679715B

Автор: 田口明廣, Akihiro Taguchi, 矢田秀貴, Hidetaka Yada, TAGUCHI AKIHIRO, YADA HIDETAKA, TAGUCHI, AKIHIRO, YADA, HIDETAKA

Принадлежит: 日商堀場Ｓｔｅｃ股份有限公司, Horiba Stec Co., Ltd., HORIBA STEC CO LTD, HORIBA STEC CO., LTD.

Контакты:

Номер заявки: 14-39-10412

Дата заявки: 25-11-2015

CPC - классификация

F F2 F22 F22B F22B1 F22B1/F22B1/2 F22B1/28 F22B1/282 F22B1/3 F22B1/30 F22B15 F22B15/F22B15/0 F22B15/00 F22B3 F22B33 F22B33/F22B33/0 F22B33/00 F22B35 F22B35/F22B35/0 F22B35/00 F24 F24H F24H1 F24H1/F24H1/0 F24H1/00 F24H9 F24H9/F24H9/1 F24H9/18

IPC - классификация

G G0 G05 G05D G05D7 G05D7/G05D7/0 G05D7/06 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67

Получить PDF