Gas distribution system with tuning gas

30-01-2007 дата публикации

Номер:

US7169231B2

Автор: Babak Kadkhodayan, Bi-Ming Yen, Dean J. Larson, Di Wu, Kenji Takeshita, Peter Loewenhardt, William M. Denty, Jr., Xingcai Su

Принадлежит: Lam Research Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6701 H01L21/67017

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/6777 H01L21/67772

Получить PDF