Vapor deposition apparatus and process for continuous deposition of a thin film layer on a substrate

24-04-2012 дата публикации

Номер:

US8163089B2

Автор: Christopher Rathweg, Mark Jeffrey Pavol, Max William Reed

Принадлежит: Primestar Solar Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/0 C23C14/06 C23C14/062 C23C14/0629 C23C14/2 C23C14/24 C23C14/243 C23C14/5 C23C14/56 C23C14/562 C3 C30 C30B C30B2 C30B23 C30B23/C30B23/0 C30B23/00 C30B23/005 H H0 H01 H01L H01L3 H01L31 H01L31/H01L31/1 H01L31/18 H01L31/183 H01L31/1836 Y Y0 Y02 Y02E Y02E1 Y02E10 Y02E10/Y02E10/5 Y02E10/50

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/2 C23C14/24 C23C14/26 C23C14/5 C23C14/56 C23C14/562

Получить PDF