Systems and methods for plasma processing of microfeature workpieces

10-10-2017 дата публикации

Номер:

US9786475B2

Автор: Allen Mcteer, SHU QIN

Принадлежит: US Bank NA

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/5 C23C14/54 C23C16 C23C16/C23C16/5 C23C16/52 G G0 G01 G01N G01N2 G01N21 G01N21/G01N21/7 G01N21/73 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/329 H01J37/3291 H01J37/32917 H01J37/3293 H01J37/32935 H01J37/3297 H01J37/32972

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/5 C23C16/52 G G0 G01 G01N G01N2 G01N21 G01N21/G01N21/6 G01N21/68 G01N21/7 G01N21/73

Получить PDF