Replacement and refill method for droplet generator

28-05-2024 дата публикации

Номер:

US0011997778B2

Автор: Shih-Yu Tu, Han-Lung Chang, Hsiao-Lun Chang, Li-Jui Chen, Po-Chung CHENG

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.

Контакты:

Номер заявки: 56-41-1806

Дата заявки: 09-12-2022

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/700 G03F7/7000 G03F7/70008 H H0 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/005 H05G2/006 H05G2/008

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/700 G03F7/7003 G03F7/70033 H H0 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/008 H05H H05H7 H05H7/H05H7/0 H05H7/06

Цитирование НПИ

250/504R
250/504R

Получить PDF